5. Standardprozesse der IC-Fertigung

5.1 Kurze Wiederholung: N-MOS, P-MOS, CMOS
5.2 Detailaufbau eines Inverters in CMOS
5.3 Detailablauf der CMOS-Fertigung am Beispiel des Inverters
5.4 CMOS-Fertigung < 100 nm